Research on a Novel MEMS Sensor for Spatial DC Electric Field Measurements in an Ion Flows Field tech./dosim.

[Forschung zu einem neuartigen MEMS-Sensor für räumliche DC elektrische Feld-Messungen in einem Ionenfluss-Feld]

Von: Mou Y, Yu Z, Huang K, Ma Q, Zeng R, Wang Z
Veröffentlicht in: Sensors 2018; 18 (6): E1740
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