走査電子顕微鏡法

英語: scanning electron microscopy
ドイツ語: Rasterelektronenmikroskopie

物理学。頭字語 SEM。電子ビームで試料を一点一点スキャニングすることのより、物体を精査する技術。約10ナノメートルの解像度で物体表面の三次元画像が得られる。

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