[相互遮へい電極を有する電界マイクロセンサ] tech./dosim.

An Electric Field Microsensor with Mutual Shielding Electrodes

著者: Lei H, Xia S, Chu Z, Ling B, Peng C, Zhang Z, Liu J, Zhang W

掲載誌: Micromachines 2021; 12 (4): 360

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